性質(zhì):純度大于99.999%。無色,無味,無味,無毒惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)為0.967。氣體密度為1.153kg/m3(21.1°C,101.3kPa);液體密度為808.5kg/m3(-195.8°C,101.3kPa)。沸點為-195.8℃。熔點:-209.9℃。氮的純化方法主要包括吸附法,變壓吸附法和膜分離法。在集成電路,半導體和電子真空裝置的制造中用作保護氣體和載氣,在化學氣相沉積過程中用作載氣,用于液體擴散源的載氣,以及用于高溫擴散爐中的裝置的保護氣。 高純度氮氣在外延,光刻,清潔和蒸發(fā)過程中用作置換,干燥,存儲和運輸?shù)臍怏w。在顯像管的制造中,要求氮氣純度為99.99%或更高。在太空技術中,液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須先用高純度氮氣代替,然后再用高純度氦氣代替。 純化方法:氮的純化方法主要包括吸附法,變壓吸附法和膜分離法。在生產(chǎn)中,黑色鋼瓶通常用于容納氮氣。
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